GEMINI – Kornstrukturanalyse

Optimieren Sie Ihren Fertigungsprozess

Für ein waferabhängiges Prozessmanagement und eine statistische Prozessoptimierung in der Herstellung von Solarwafern ist es unerlässlich die Kornstruktur von multikristallinen und mono-like Wafern genau zu analysieren.

Leistungsdaten

Das GEMINI Kornstrukturanalyse System kann aufgrund der natürlichen Kornstruktur des Wafers eine Reihe von Informationen generieren, wie z.B.:

• Anzahl der Körner und ihre jeweilige Größe
• Gesamtlänge der Korngrenzen
• Erkennung von Zwillingskörnern
• Prozentanteil des Bereichs mit dem größten Korn

Weitere Optionen

Das System ist erhältlich als Einzelsystem für Wafermessungen im Laborbereich, wie auch als inline Modul, z.B. für eine schnelle mono-like Erkennung.

Das GEMINI Kornstrukturanalyse System erstellt mehrere Aufnahmen von einem Wafer. Dies ist nötig, um ein verlässliches Ergebnis über die Kornstruktur eines Wafers zu erhalten. Durch den Einsatz von vielen verschiedenen Beleuchtungen ist es möglich jedes einzelne Korn sichtbar zu machen.

Sollten Sie eine individuelle Lösung wünschen, bietet Intego kostenlose Voruntersuchungen auf Basis von Musterteilen an. Mit der Studie erhalten Sie ein Systemkonzept mit einer Preisabschätzung. Zögern Sie nicht, uns direkt zu kontaktieren.