MODULUM – Lumineszenzmessung

Optimieren Sie Ihren Fertigungsprozess

Dieses System wurde gemeinsam mit dem Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE) speziell für die Lumineszenzmessung im Solarbereich entwickelt. Es ermöglicht die konsistente Materialanalyse von Ingots und Wafern, bis hin zu fertigen Zellen und Modulen. Darüber hinaus kann das System ideal im Halbleiterbereich eingesetzt werden. Unter anderem können Silicium, SiC, Ge, GaN, GaAs, LEDs/µLEDs und OLEDs geprüft und charakterisiert werden. Für die Bildaufnahme werden Elektrolumineszenz und Photolumineszenz, sowie Kombinationen dieser Methoden genutzt. Konkrete Anwendungsbeispiele sind:

• räumlich aufgelöste Ladungsträgerlebensdauermessung
• Bestimmung der Eisenkonzentration
• Messungen der Effizienzabschätzung von Wafern (ELBA)

Darüber hinaus sind weitere benutzerdefinierte Messabläufe und Auswertungen integrierbar.

Spezifikationen

• Systemabmessungen: 2 m x 2.1 m x 1.1 m
• Großes Ladevolumen für die Vermessung von Ingots, Wafern, Zellen und Mini-Modulen:
  0.17 m x 1.1 m x 0.9 m
• Bildbereich: 170 x 170 mm² (größer auf Nachfrage)
• Manuelle Höhenregelung des Messtisches
• Vakuumchuck zur Fixierung und Temperierung (25-80°C) von Prüflingen
• Laserbeleuchtung:
  • Zentralwellenlänge: 808 nm
  • Intensität: 0.1 – 2 Sonnen
  • räumliche Homogenitätsabweichungen: < 10 %
  • zeitliche Modulation der Ausgangsleistung
  • Anpassungen wie beispielsweise eine zweite Laserquelle auf Nachfrage möglich
• Elektrische Kontaktierung:
  • Rückseitenkontaktierung über das Chuck
  • Vorderseitenkontaktierung anpassbar mittels adaptiver Kontaktiereinheit
• Si-Basierte Kamera mit minimalem Dunkelstrom:
  • gekühlt auf -70°C
  • Standardauflösung: 180 µm
  • spektraler Beschränkung: 950 nm – 1000 nm
  • Anpassungen auf Nachfrage
• Photodetektor:
  • zeitaufgelöste Messung der Injektion und der Lumineszenzantwort des Prüflings
  • hohe Sensitivität durch optimiertes Photodioden-Setup mit rauscharmen Stromverstärkern
• Typische Messzeit von 1-10 Sekunden, für komplexe Messabläufe auch Stunden bis Tage

Leistungsdaten

Das System ist insbesondere für die Nutzung in der Forschung und Entwicklung ausgelegt und kann flexibel an unterschiedliche Messaufgaben angepasst werden. Eine Integration von kundenseitigen Hardware- und Softwarelösungen ist jederzeit möglich. Selbstverständlich kann das Messprinzip auch auf eine Inline-Anwendung übertragen werden.

Sollten Sie eine individuelle Lösung wünschen, bietet Intego kostenlose Voruntersuchungen auf Basis von Musterteilen an. Mit der Studie erhalten Sie ein Systemkonzept mit einer Preisabschätzung. Zögern Sie nicht, uns direkt zu kontaktieren.