MODULUM – Lumineszenzmessung


Optimieren Sie Ihren Fertigungsprozess

Dieses System zur Lumineszenz-Messung wurde gemeinsam mit dem Fraunhofer ISE speziell für den Solar-Bereich entwickelt und ermöglicht die konsistente Material-Analyse über die gesamte Bandbreite von Ingots, über Wafer bis hin zu fertigen Zellen und Modulen. Darüber hinaus ist das System ideal für den Einsatz im Halbleiterbereich geeignet zur Prüfung und Charakterisierung z.B. von Silicium, SiC, Ge, GaN, GaAs, LEDs/µLEDs und OLEDs. Für die Bildaufnahme werden Elektrolumineszenz und Photolumineszenz sowie Kombinationen dieser Methoden genutzt. Mit dem System sind verschiedenste Anwendungen möglich wie eine räumlich aufgelöste Ladungsträgerlebensdauermessung, die Bestimmung der Eisenkonzentration sowie Messungen zur Effizienzabschätzung von Wafern (ELBA). Darüber hinaus sind weitere benutzerdefinierte Messabläufe und Auswertungen integrierbar.


Spezifikationen

  • Systemabmessungen: 2 m x 2.1 m x 1.1 m
  • Großes Ladevolumen für die Vermessung von Ingots, Wafern, Zellen und Mini-Modulen: 170 mm x 1100 mm x 900 mm
  • Bildbereich von 170 x 170 mm² (größer auf Nachfrage)
  • Manuelle Höhenregelung des Messtisches
  • Vakuum Chuck zur Fixierung und Temperierung (25-80°C) von Prüflingen
  • Laserbeleuchtung: 808 nm Zentralwellenlänge, Intensität von 0.1 – 2 Sonnen, räumliche Homogenitätsabweichungen unter 10 %, zeitliche Modulation der Ausgangsleistung
    (Anpassungen wie beispielsweise eine zweite Laserquelle auf Nachfrage möglich)
  • Elektrische Kontaktierung: Rückseitenkontaktierung über das Chuck, Vorderseitenkontaktierung anpassbar mittels adaptiver Kontaktiereinheit
  • Si-Basierte Kamera mit minimalem Dunkelstrom, gekühlt auf -70°C, Standardauflösung von 180 µm und spektraler Beschränkung auf 950 nm – 1000 nm
    (Anpassungen auf Nachfrage)
  • Photodetektor: zeitaufgelöste Messung der Injektion und der Lumineszenzantwort des Prüflings, hohe Sensitivität durch optimiertes Photodioden-Setup mit rauscharmen Stromverstärkern
  • Typische Messzeit von 1-10 Sekunden, für komplexe Messabläufe auch Stunden bis Tage

Leistungsdaten

Das System ist insbesondere für die Nutzung in der Forschung und Entwicklung ausgelegt und kann flexibel an unterschiedliche Messaufgaben angepasst werden. Eine Integration von kundenseitigen Hardware- und Softwarelösungen ist jederzeit möglich. Selbstverständlich kann das Messprinzip auch auf eine Inline-Anwendung übertragen werden.


Weitere Optionen

Sollten Sie eine individuelle Lösung wünschen, bietet Intego kostenlose Voruntersuchungen auf Basis von Musterteilen an. Mit der Studie erhalten Sie ein Systemkonzept mit einer Preisabschätzung. Zögern Sie nicht, uns direkt zu kontaktieren.