Maßgeschneiderte Inspektionssysteme für Spezialanwendungen

Optimieren Sie Ihren Fertigungsprozess

Die Nachfrage nach kundenspezifischen optischen Inspektionssystemen nimmt ständig zu. Ein neuer Fertigungsprozess, ein neues Produkt oder das Auftreten eines neuen Fehlertyps erfordert oft eine angepasste Lösung. Seit mehr als 20 Jahren entwickelt Intego in enger Zusammenarbeit mit seinen Kunden kundenspezifische Defektinspektions- und Metrologiesysteme für den Front-End- und Back-End-Bereich der Halbleiterindustrie. Anforderungen an Durchsatz, Handling, Schnittstellen, SEMI-Konformität und Betriebskosten werden während der Entwicklungsphase in gleicher Weise berücksichtigt wie die optische Inspektionstechnologie, die das Herzstück des Systems bildet. Am Ende erhält der Kunde ein maßgeschneidertes Prüf- bzw. Messsystem, das seine Anforderungen bestmöglich erfüllt und damit einen dauerhaften Beitrag zur Verbesserung der Produktqualität und Produktivität leistet.

Typische Inspktionsaufgaben sind:

UV bis NIR Photolumineszenz (AQUILA PL): Defekterkennung und Materialcharakterisierung im Bereich der Opto- und Leistungselektronik (e.g. LED, SiC, GaN)
Spektrometrie: anspruchsvolle Klassifikation kristallographischer Defekte für Materialien in der Leistungselektronik
Ladungsträgerlebensdauermessung (MODULUM): räumlich aufgelöste Messungen der Ladungsträgerlebensdauer basierend auf modulierter Lumineszenz
Infrarotinspektion: hochaufgelöste Detektion von Mikrorissen in Halbleiter- und MEMS-Wafern
Kanten- und Notchinspektion (LYNX): vollständige Waferkanten- und Notchinspektion mit einem bisher einmaligen Inspektionskonzept
Oberflächeninspektion: empfindliche Oberflächeninspektion mittels Laserstreuung; zuverlässiger Nachweis von Partikeln bis hinunter zu 100 nm und teils noch kleiner
Inspektion von großen und ungleichmäßig geformten Wafern, Substraten und Panels: Multikamerakonzepte und kundenspezifische Handlingslösungen für die zeitoptimierte Inspektion von nicht standardmäßigen oder übergroßen Halbleitersubstraten
Mikrorissinspektion: hochempfindliche optische Detektion von Mikrorissen in gesägten Wafern (z.B. LED, MEMS, Leistungshalbleiterdioden)

Wir freuen uns, dass unser Beitrag zum Photolumineszenzscanner im Rahmen der Leistungselektronik Konferenz PCIM in Nürnberg mit dem Semikron Innovation Award 2016 ausgezeichnet wurde. Die Pressemitteilung finden Sie unter anderem hier.

Einige allgemeine Leistungsdaten

Anwendung

kundenspezifische und flexible Hardware- und Softwarelösungen für die Wafer- und Chipinspektion

Inspektion von opaken, teiltransparenten und transparenten Wafern

Anlagenkonzepte für unterschiedlichste Wafergrößen und -formen (Spektrum reicht von Standardwafergrößen bis hin zu 500 mm x 500 mm großen Substraten)

Technologie

Kombination mehrerer Prüf- und Messmethoden in nur einer Anlage

gleichzeitige Inspektion mit mehreren Fokusebenen, Vergrößerungen und Beleuchtungsszenarien

spezielle Inspektionsmethoden zur verbesserten Bildaufnahme bei ungleichmäßiger Höhenverteilung der Chips auf der Trägerfolie

Inspektion mittels Hellfeld, Dunkelfeld, Durchlicht, Laserstreuung, Polarisation, Photolumineszenz, Interferometrie, Thermographie, DIC, etc.

maßgeschneiderte Beleuchtungen von UV bis IR

höchstauflösende Messmethoden bis zu 0.1um/px

Waferhandling

individuelle EFEM-Lösungen oder Standard-EFEM-Anbieter (z.B. Rorze, Brooks, InnoLas)

maßgeschneiderte Chuck- und Endeffektorlösungen

spezielle Reinraum- und Minienvironment-Lösungen

Software

fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen basierend auf modernsten PC-Cluster-Lösungen

automatische Chipinspektion auf Basis des Golden Samples-Prinzips oder der CAD-Information

firmeneigene automatische Fehlererkennungs- und Klassifizierungsalgorithmen

spezielle Mustererkennungs- oder Deep-Learning-Lösungen

umfangreiche Software zur Waferdefektanalyse, Ergebnisaufbereitung u. Yield-Bestimmung

maßgeschneiderte GUI, KLARF Reporting und SQL-Datenbanklösungen

SEMI-Softwareschnittstellen inkl. SECS/GEM

Weitere Möglichkeiten

Falls Sie eine individuelle Lösung benötigen, bietet Intego kostenfreie Voruntersuchungen anhand von Musterteilen an. Die Voruntersuchung beinhaltet einen Vorschlag zum Systemaufbau und eine Kostenabschätzung. Nehmen Sie Kontakt zu uns auf.