Glaswafer, Mikrolinsenarrays bzw. allgemein Wafer-Level-Optics finden Einsatz als Vorprodukte für die Halbleiter- und optische Industrie bzw. als strahlformende Elemente für die Automobil- und Medizinbranche, als Faseroptiken oder in optischen Sensoren.

Um ihren Einsatzzweck zu erfüllen, müssen Oberflächen und Volumen der Bauteile frei von Defekten und Fremdkörpern sein. Bei Mikrolinsenarrays und Wafer-Level-Optics ist darüber hinaus die Einhaltung der Formtoleranzen wesentliche Voraussetzung für die korrekte optische Funktion und die mechanische Integration in Baugruppen.

Abdeckung vieler Inspektionsaufgaben

Zur Sicherstellung der Qualität in der Fertigung von Wafern, Mikrolinsenarrays und Wafer-Level-Optics ergeben sich verschiedene Inspektionsaufgaben:

• Oberflächenunvollkommenheiten (z.B. Kratzer, Löcher, Ausbrüche, Verschmutzungen)
• Materialunvollkommenheiten (z.B. Blasen, Einschlüsse, Inhomogenitäten)
• Beschichtungsfehler, Verfärbungen, Trübungen
• Oberflächenformabweichungen
• Maßliche Abweichungen (z.B. Mittendicke)

Die Inspektionssysteme von Intego sind in der Lage, all diese Prüfungen vollautomatisch durchzuführen – wenn gewünscht auch kombiniert in einer einzelnen Maschine.

Zielgenauer Einsatz verschiedener Messtechniken

Zur Erfüllung der Prüfaufgaben werden in den Anlagen von Intego verschiedene Technologien eingesetzt, u.a.:

• hochauflösende Matrix- und Zeilenkameras
• optimierte Lichtquellen
• Konfokale, triangulative, interferometrische oder deflektometrische Sensoren
• hochgenaue Aktoriken

Die Auswahl der optimalen Messtechnik und Komponenten erfolgt kundenspezifisch anhand der zu prüfenden Bauteile und der Prüfanforderungen.

Maßgeschneiderte Software

In der hauseigenen Software werden die Datenaufnahme und das Teilehandling gesteuert und parallel dazu die Messdaten ausgewertet. Die Klassifizierung der Prüflinge erfolgt nach Norm (z.B. DIN ISO 10110, bzw. scratch/dig nach MIL/ANSI) oder angepasst an spezielle Anforderungen des Kunden. Neben der klassischen Bildverarbeitung kommen hierbei auch Deep-Learning-Methoden zum Einsatz.

Auf der graphischen Benutzeroberfläche des Systems werden dem Bediener live Maschinenstatus und Prüfergebnisse angezeigt. Auf einen Blick sind hier alle relevanten Informationen inklusive Defektkarten, Maßzahlen, etc. sichtbar. Die Speicherung der Ergebnisdaten stellt eine lückenlose Rückverfolgbarkeit aller Teile sicher und erlaubt auch eine nachträgliche Analyse der aufgenommenen Daten.

Automatisierung und Schnittstellen

Intego bietet seine Inspektionssysteme als Stand-alone-Anlagen mit manueller Beladung z.B. für den Laboreinsatz an oder als Inline-Systeme für die Integration in automatisierte Fertigungslinien. Dabei können nahezu beliebige Schnittstellen implementiert werden für die Kommunikation mit externen Beladesystemen oder Sensoren sowie die Anbindung an Kundendatenbanken.

Kontakt

Kontaktieren Sie uns gerne, wenn Sie Interesse haben oder noch Fragen offen sein sollten. Ansprechpartner finden Sie oben rechts auf dieser Seite und unter Kontakte. Intego bietet auch kostenlose Voruntersuchungen auf Basis von Musterteilen an. Mit der Studie erhalten Sie ein Systemkonzept mit einer Preisabschätzung