Prüfung von Bricks


Optimieren Sie Ihren Produktionsprozess

Unser SIRIUS Brick Prüfsystem macht sich die glatte Oberfläche von polierten Bricks zunutze, um mit einer hochgenauen Prüfung Einschlüsse und die Kristallstruktur sichtbar zu machen und Vermessungen durchzuführen. Ein Lasermarkierungssystem für die getesteten Bricks ist dabei eine sinnvolle Ergänzung.

Die exakte Positionsbestimmung der Fehler innerhalb der Bricks ist die Vorraussetzung für den späteren optimierten Sägeprozess der Wafer, die für Deckgläser oder für die Halbleiterproduktion eingesetzt werden.

 

Leistungsumfang

  • Einschlussprüfung: Mit einer Auflösung kleiner als 5 μm ist es möglich, kleinste Einschlüsse, z.B. Blasen, innerhalb des Bricks zu erkennen. Die Fehlerdichten können dreidimensional visualisiert werden.
  • Kristallstruktur: Die Erkennung und Klassifizierung von Kornfehlern auf einer absoluten Skala verbessert die Qualität des fertigen Produkts signifikant.
  • 3D Geometriemessung: Eine präzise 3D Messung der Blöcke hilft bei der Prozessoptimierung und vermeidet Kosten für nachträgliche Arbeitsschritte.
  • Lasermarkierung: Individuelle Kennzeichnungen und Markierungen der Fehlerbereiche auf den Blöcken stellen sicher, dass die getesteten Blöcke nicht vertauscht werden können.

 

Weitere Möglichkeiten

Sollten Sie eine individuelle Lösung wünschen, bietet Intego kostenlose Voruntersuchungen auf Basis von Musterteilen an. Mit der Studie erhalten Sie ein Systemkonzept mit einer Preisabschätzung. Zögern Sie nicht, uns direkt zu kontaktieren.