Mikroskopscanner (LEDs, OLEDs, MEMS)


Optimieren Sie Ihren Fertigungsprozess

Der Mikroskopscanner für die Prüfung von LEDs, OLEDs, MEMS basiert auf einer automatisierten Plattform, die hohe Durchsätze an Prüfteilen ermöglicht. Das Grundsystem besteht aus einer Handhabungseinheit sowie einer Messeinheit. In der Handhabungseinheit fördert ein Roboter die Wafer oder Substrate mit Duchmessern bis 12“ aus Kassetten, während in der Messeinheit die Teile unter dem Detektor verfahren werden. Es werden typische Auflösungen von 0,5 µm bis 5 µm in Kombination mit Beleuchtungstechniken aus dem Spektralbereich UV-VIS-IR erzielt.


Leistungsdaten

Eine Prüfung der Bauelemente ist notwendig bei

  • LEDs
  • OLEDs
  • MEMS
  • Dioden
  • Kundenspezifische Produkte

Typische Inspektionsziele sind

  • Oberflächen- und Volumendefekte (Mikrorisse, Kratzer, Erhebungen, Abplatzer, Partikel, Einschlüsse)
  • Bewertung von Strukturen (Komponentenanordnung, Lasermuster, Ätzprozesse, Leiterbahnen)

Die Messeinheit ermöglicht es spezielle Detektoren, Beleuchtungen und Anregungsarten zu verwenden.

  • Schnelle Zeilen- und Matrixkameras mit hoher Auflösung (bis 0,5 µm/px)
  • Verschiedene Kontrastmethoden (BF, DF, DIC, Pol)
  • Optische Beleuchtungen von UV bis IR
  • Leuchtdichte- und Farbmessung
  • Interferometrie
  • Photolumineszenz
  • Thermographie

Weitere Möglichkeiten

Falls Sie eine individuelle Lösung benötigen, bietet Intego kostenfreie Voruntersuchungen anhand von Musterteilen an. Die Voruntersuchung beinhaltet einen Vorschlag zum Systemaufbau und eine Kostenabschätzung. Nehmen Sie Kontakt zu uns auf.


Ihr Ansprechpartner für den Mikroskopscanner


Dr. Steffen Oppel
Dr. Steffen Oppel

+49 9131 61082-230

steffen.oppel@intego.de